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SIMCO离子发生器In-Line fusION
Simco-Ion 的 In-Line fusION 是一款紧凑型离子产生器,能提供强大的静电控制,适用在半导体,平板显示,医疗器件的精密制程和微细环境内,在有限的空间处理局部但要输送较远的区域静电问题。In-Line fusION 的安装,操作和维护十分简易,只须安放靠近工作区,连接电源,即可开始工作,消除区内的静电。砖利自动平衡技术,无需调整或校准。这个惊人的细小紧凑装置使用钨金属静电针和提供警报输出,可集成设备系统作远端监控。利用设备电源可以多台串连工作Simco-Ion 标配的 24 VDC 电源适配器,可串联连接 5 台。
透过长管把离子输送 |
• 方便处理较为难以碰触的目标地方 |
• 紧凑的设计 |
• 可装入制程设备内有限的紧闭空间 |
• 电离状态指示灯和远端报警输出 |
• 标准功能,方便用户操作 |
• 单台电源可供应多台 fusION 离子产生器 |
• 同一电源*多可串联 5 台 fusION 离子产生器,非常适合机内多 |
• 选配风刀,风环和氮气 (N2) 套件 |
个位置的静电防护 |
• 能客制 In-Line fusION 以符合紧凑环境和洁净要求 |
长久以来,业内都希望有一个离子产生器可使用长管把离子聚集,避免途中的接地金属吸走,令输送得更方便,集中处 理目标上的静电问题,而无需把离子产生器靠近安放。
Simco-Ion
开发的直流技术 In-Line fusION 能使用*长的 6尺长管,提供快速消除静电的能力。由于管内的离子的互相结
合数量很少,故此单一长管亦可变为有多分支的架构,把离子分配和输送到多个位置,但仍能维持优越的消除静电能 力。一般使用是 clean dry air (CDA),但有氮气 (N2) 套件提供,以符合应用要求。