产品名称：日本三丰 MITUTOYO 525-763-1 表面粗糙度测量仪

Formtracer  Extreme (超级表面粗糙度/轮廓测量装置)  CS-5000CNC/CS-H5000CNC

525系列-CNC形状测量仪

日本三丰品牌  MITUTOYO  525-763-1  表面粗糙度测量仪

特点：

1、高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。

2、X1和Z2轴的*大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。

3、X1和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率（X1轴分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：4nm/8nm）的轮廓/形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。

4、Z1轴检测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。

5、Z1轴检测器集成了防碰撞**装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。

6、带有а轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。

7、提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。

8、通过USB端口与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。

技术参数：

X1轴

测量范围：200mm

分辨率：0.00625μm

检测方法：激光全息光栅尺

驱动速度：*大40mm/s（CNC模式）  0-40mm/s（操纵杆控制模式）

测量速度：0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)

0.02-2mm/s（形状/轮廓）

测量方向：向前/向后

直线度： （0.1+0.0015L）μm 使用标准测针

         （0.2+0.0015L）μm 使用二倍长型测针

         （CS-H5000CNC）

指示精度（20℃）：±（0.3+0.002L）μm 

指示精度（20℃）：±（0.16+0.001L）μm  L为驱动长度（mm）            

Z1轴：

测量范围： 12mm(使用标准测针)   24mm(使用二倍长型测针)

分辨率：0.004μm（使用标准测针）  0.008μm（使用二倍长型测针）  0.001μm（使用标准测针）

(CS-H5000CNC)    0.002μm（使用二倍长型测针）  (CS-H5000CNC)

测针上/下运作：弧形运动

检测方法：激光全息光栅尺

指示精度（20℃）：±（0.3+I0.02HI）μm    

指示精度（20℃）：±（0.07+I0.02HI）μm    H为测量高度（mm）

测力：4mN（使用标准测针）   0.75mN（使用二倍长型测针）

跟踪角度：向上60°，向下60°（取决于表面粗糙度）

针尖（球型测针）：金刚石，角度：40°，半径5μm （半径：0.25mm，蓝宝石）

测针方向：向下

Z2轴（立柱）

测量范围： 300mm

分辨率：0.05μm

检测方法：反射型线性编码器

驱动速度：*大200mm/s（CNC模式）   0-50mm/s（操纵杆控制模式）

基座尺寸：（W×D）:750×600mm

基座材料：花岗岩

Y轴*

测量范围：200mm

分辨率：0.05μm

驱动速度：*大200mm/s（CNC模式）   0-50mm/s（操纵杆控制模式）

工件*大承重：20Kg

直线度：0.5μm/200mm

指示精度（20℃）：±（2+2L/200）μm    L任意两点间的长度（mm）

尺寸：（W×D×H）:800×620×1000mm(800×620×1200mm:高立柱型)

重量：240kg（250kg：高立柱型）

*红色为CS-H5000CNC的数据

软件选件：

FORMTRACEPAK  V5

使用该软件可以控制马达驱动的Y轴工作台和旋转台选件，从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮廓评估，这项评估包括对级差，角度，深度，面积和其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外，还可以通过设置打印格式建立原始检测证书，以适应不同的需求。

性能参数：

*根据不同的交流电源电缆及测量装置，可选不同的选件套装。12AAH838（公制型，欧盟），12AAH839(公制型，BS),12AAH843（公制型，中国），12AAH844（公制型，EK），12AAH840(英制型，UL/CSA),12AAH841(英制型，欧盟)，12AAH842(英制型，BS)，12AAH845(英制型，中国)

*根据不同的交流电源电缆及测量装置，可选不同的选件套装。12AAH847（公制型，UL/CSA），12AAH848(公制型，欧盟),12AAH849（公制型，BS），12AAH853（公制型，中国），12AAH854(公制型，EK),12AAH850(英制型，UL/CSA)，12AAH851(英制型，欧盟)，12AAH852(英制型，BS)，12AAH855（英制型，中国）

测针：