产品名称：SIMCO离子风棒5635M Bar

SIMCO离子风棒5635M Bar  

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和**的参数调整，使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的

“Extended ISO Class 1”洁净度，适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。

Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。

型号 5635 MP 离子棒的设计是使用在 ISO 14644-1 Class1 洁净度的环境 (每立方米少过 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微粒）。如把输出功率设在 45-50% 和使用 OpenJet 风嘴和单晶硅静电针，它可兼容 ISO 14644-12 洁净度 (每立方米少过1200 粒 @ ≥0.01 micron 的微粒)。

型号 5601 电源分配盒可作为中央电源和软件控制，能连接 8 根 5635 MP 离子棒。

Aerobar 5635 MP 离子棒只要连上 24  VDC 电源即可工作，如需要也可接入气源作吹气辅助。DIP 开关可设定功率输出，可根据说明书的建议，设定需要的消散效能。然后在棒上微调操作参数，或透过连接的电脑软件调节，以达到*佳的离子平衡，*小的电压摆幅，和*快的消散时间。在信号和电源的接线盒上的警报连接能输出至设备或中央控制室作远端设备监控。